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AFM显微硬度计应用于检测刮痕实验-光学仪器厂商一是使用矽探针进行AFM 模式将试样的表面形貌扫出，另外则为使用钻石探针进行刮痕实验。在开始执行刮痕实验之前，须先使用矽探针以微小力量扫描试样的 表面形貌，以避免试样表面粗糙度过大或是试样表面过于倾斜等情形，在 确定试样的量测范围有好的粗糙度后，即可选取AFM 模式下的Vector Scan 功能，利用撰写程式来控制犁耕力量、速度、刮痕长度以及探针位置 等，在程式完成后即可以钻石探针进行犁耕动作。 规划，先进行控制不同犁耕力量来执行单一刮痕实验，藉由控制不同正向犁耕力量来 观察于不同镀膜层的侧向力差异，以及不同试样刮痕轨迹上的表面粗糙 度，并再以固定正向力执行往覆式刮痕实验，以进而解释镀膜层磨耗之表现
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