提高显微硬度计的分辨率需选用短波长照明源显微硬度计的分辨极限与所用照明源的波长成比例关系,波长越短,分辨极限越小分辨率越高阿贝公式可知,要提高显微硬度计的分辨率,一是选择波长短的照明源另一途径是是增大透镜的数值孔径,实际证明,透镜的数值孔径不能再大了,所以选用短波长的照明源是提高分辨率的有效方法。在材料科学领域里,人们应用光学显微硬度计来研究金属材料的全自动精密显微硬度计组织巳有数百年的历史,在长期的实践中已积累了相当丰富的知识,并建立了一套完整的全自动精密研究方法及其分析理论基础。但随着材料科学的发展,由于光学显微硬度计的分辨率有限,不能对材料的微观结构作进一步地深入研究,故又制造了一种分辨率更高,放大倍数更大的电子显微硬度计。 电子显微硬度计和光学显微硬度计的主要区别是在于光学显微硬度计用可见光照明和光学透镜成像而电子显微硬度计用电子束照明和电磁透镜成像。
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