分析和检验仪器-可对观察数据自动分析的显微硬度计 作为微电子技术环境控制的全自动精密显微硬度计手段,其测试仪器有从简单的台式显微硬度计到当前使用的精巧而效率很高的各种仪器,而且把放大和微观分析都结合在一起了。 关于分析和检验仪器的讨论来看,全自动精密显微硬度计法是观察人员从各种线索中得到信息的方法。观察人员可采用很多方法进行处理以获得所需信息;也可从初的观察中,看出各种情况和数据的相互关系, 从而决定采用哪一种有效方法。显微硬度计和其它方法联合使用,在检验工作中往往是处在线的。 由于引入了自动扫描系统和计算机的数据处理技术,定量全自动精密显微硬度计分析近年来日益重要。在测量粒子大小的分布,样品的其它特性中更是如此。 全自动精密显微硬度计研发分析软件可的进一步发展促使光学显微硬度计的数据自动处理,电子束显微硬度计分辨率和分析灵敏度方面得到更大的改进。在这新的领域中,当前首先要做的工作是将检验技术推进到更先进的水平,使之能对微电子器件中很小的斑点进行观察,并获得更高的分析灵敏度。
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