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应用于耐磨表面粗糙度测量的显微硬度计的组成特点 由此看来，粗糙表面的微不平度的特点和粗糙度参数的物理含义的特点不允许实现把测量单位从这一领域的一次基准器直接传递到标准器进而传递到工作测量工具而无显著的精度损失。 干涉全自动精密显微硬度计基准器装置，它由干涉显微硬度计、物镜瞄准装置和附加的线位移测量工具组成；粗糙度基准样板。 现阶段用小型真空镀膜设备研制校验样板的工作已经全部完成，预言用这个方法在均匀性和精度方面能达到的极限是不现实的，尽管如此，本报告所论述的结果表明，现有这种形状的校验样板对电积分指示计的传输特性给出了有效的指示，并且这种制造镀层的方法其幅度的节距至少可分别达到30-1000uin和0.01-0.3in.可是，近两年期间得到的结果说明（这期间作为经济合作和发展组织计划的一部分，其中有两块样板已在各个国家实验室中流通使用。）， 尤其是若用带滑块支承的传感器时，需要较硬的耐磨表面，但这个不会成为一个不可克服的问题。
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