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微观几何量中CCD的应用-磨削加工检测显微硬度计微观几何量中的传感器 除了用于宏观几何特性的传感器外，其他传感器能够给出微观几何量的信息。带有导电金属粒子的砂轮填充物，作为一个特殊类型的微观几何磨损，通过应用基于感应现象的传感器能够被检测出来。传感器由一个高导磁芯和线圈组成，它被安装在距离表面很近的距离处。金属粒子在阻抗上产生变化，其能够被进一步地处理以用于检测砂轮填充物的状态。传统的记录磁头也可用于检测砂轮表层铁粒子的存在及相对尺寸。只有这种特殊类型的磨损在金属材料的磨削过程中用这种传感器可被检测出，这种传感器还没有实现实际的应用。 目前所有介绍的技术涉及到的限制，把注意力转到光学方法中。因为它们的频率范围和表面材料的独立性，这些方法看起来很有希望。通过应用电荷耦合装置(CCD)，分散光传感器用于检测来自于砂轮表面的反射光。基于光学的，在切削速度下对表面特征的测量的尝试在文献中做了报道。用一个快速的硅全自动精密二极管作为接收器，用氙气灯或卤素光源的全自动精密传感器来测量在所谓的磨平区域的反射光的脉冲。试验显示在磨削过程中脉冲导致数量的变化，因此磨损状态的监测是可能的。
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