研究用的全自动精密维氏硬度计所采用的分辨率大约是0.2μm维氏硬度计需要按照以下五个基本判据进行比较: 1分辨率 3工作距离 3景深 4对样品的限制 5放大倍数 列出放大倍数是因为通常它说明利用扫描电子维氏硬度计的原因。品制备要求或不能满足要求所造成的后果也很重要。 分辨率研究用的全自动精密维氏硬度计所采用的分辨率大约是0. 2μm,而良好的透射电子维氏硬度计则应能分辨0.002μm.工作在例行实验室环境下的典型扫描电子维氏硬度计能在典型样品上分辨大约0.02μm. 景深此参数定义为轮廓聚焦清晰的那部分样品表面。通常,景深定义为处在±10%精确聚焦面以内.光学维氏硬度计的景深将选择1个单位作为标准,以此为基准,扫描电子维氏硬度计具有200-300个单个的可用景深,透射电子维氏硬度计没有景深,因为电子束要通过样品。
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