检测光学维氏硬度计物镜透镜可以使用好几种光路结构 使用这种干涉仪地检测全自动精密维氏硬度计物镜。所使用的光路结构从本质上说与检测透镜使用的是相同的。不过一般说来,不使用凸面反射镜,因为全自动精密维氏硬度计物镜的焦距短。由于维氏硬度计有时候是在有限筒长下工作,因此加人了一个负透镜来改变准直光,同时模拟一个16cm远处的光源。这个透镜的球差必须校正,但是不需要校正其色差。检测物镜可以使用好几种光路结构,常用的是曲率中心与物镜焦点垂合的球面反射镜那种结构。一个比半球稍厚一点的实心球面反射镜可以用来模拟存在防护玻璃罩的情况。 还可以在物镜焦点上放置一块平面反射镜,但是在这种情况下波前会旋转180°。因此要么使用激光光源。要么在另一个臂上将波前旋转一下。要实现波前的旋转可以通过一个三角棱镜来实现,或者使用另一个带有相同乎面反射镜的全自动精密维氏硬度计物镜的系统来实现。应该指出的是,在这种情况下,出现的干涉图样显示了两个物镜的像差之差。 第四个光路结构是由两个相对放置的全自动精密维氏硬度计物镜组成的。在这种情况下,干涉图像显示两个物镜像差的和。但是.当被检测的像差比较大,或者针孔比较大时,
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