应用表面轮廓仪很容易测量陡峭的斜率表面-测量维氏硬度计 测量这类表面的问题之一是表面的曲率变化和相当陡峭的斜率,所以,光学轮廓仪必须有相当大的测量范围,而表面轮廓仪很容易测量这类表面。不同仪器的横向(x)扫描范围可以达到200mm,利用新规格PG 1240仪器 z方向的扫描范围是12. 5mm,x方向的抽样率是0.125 -1.0μm(取决于扫描长度),不准确度是0.35m+0. 03X扫描长度,在分辨率0.8nm时的高度可重要性好于 0. 04μm,可以测量的大斜率范围在士35°。与表面轮廓测量仪一样,若使用其他类型仪器,对系统进行正确标定是关键。由于是一种接触式轮娜测量仪器,所以,利用该技术可以测量模芯和模压光学元件两种零件。
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