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精密机器零件的粗糙度和形状光测维氏硬度计的应用原理光测法 如果我们用一光学维氏硬度计观测表面，我们将无法分辨宽度小于1000埃左右的细节。虽然我们呵以把得到的图形大大放大，但是决不能从该图形获得小于上述数值的细节。这就是所谓维氏硬度计的“分辨率”，这种限制是因光波太长而造成的。如果我们观测按角度a=6°剖切的推拔截面上的表面轮廓，就可以放宽这种限制。如上面所指出，维氏硬度计本身对表面形状的分辨率只能低于1000埃。但是因为推拔截匝本身可把表面不平度的高度放大到十倍，这就意味着我们所能分辨的表面粗糙度的实际高度大约只有200埃。 关于研究表面粗糙度的高度还有一种特殊方法无需特地剖切截面。表面可用所谓光干涉原理直接进行观察。它能分辨小到50埃的高度差。干涉维氏硬度计通常可用来研究精密机器零件的粗糙度和形状。电子维氏硬度计 电子维氏硬度计在某些方面类似光学维氏硬度计，只是以电子束代替光源而以静电透镜或磁透镜代替光学透镜。电子能通常是50000～100000伏。电子束可以穿透待测试件，而发射出来的电子可以聚集在荧光屏或照相片上形成图象。这就是所谓透射电子全自动精密维氏硬度计术。由于电子不能穿透很厚的材料，所以透射法只能用于很薄的试件。有时可从试件上剥下一层薄的表面膜而用上述方法进行观测。常用的一种方法是用塑料(例如聚醋酸甲基乙烯脂)制成一层薄的表面复制品，而用电子束透射法观测这个复制品。采取了适当措施后．可以达到5埃左右的分辨率，因而几乎可以看到单个原子。 另一种不做复制品的表面观测法，是使电子束倾侧，以致它在掠入射的情况下射向试件，然后用一般方法使散射电子聚焦。这就是所谓反射电子全自动精密维氏硬度计术。得到的图象能显示表面不平度，这有点像一个行人在驶近的汽车的前灯照射下看到路面上的表面不平度。投射的阴影很长，但因视角很低，这些阴影已按透视法缩短。
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