机械加工表面微观形貌宏观几何形状测量轮廓仪 纳米机械加工表面微观形貌检测方法 扫描尺寸(测量范围)对检测结果的影响 在表面形貌检测中,扫描尺寸的选取对检测结果有很大影响,因此正确选取扫描尺寸是非常重要的。为考察扫描尺寸对表面粗糙度测量的影响,在实验A中设计了一组实验: ①在车削硅和锗试件时.不采用隔振措施,使表面有宏观几何形状误差,用来考察扫描尺寸对滤除宏观几何误差的作用; ②用AFM扫描时,对同一测试点分别选用三种不同扫描尺寸,得到r一组测量值。对实验结果进行分析,可以得出:在使用AFM扫描时,一般的规律是随着扫描尺寸的增大,表面粗糙度值也增大。这主要是因为:a.随着扫描尺寸的增大,包括的表面波纹度和宏观几何误差成分增多,对粗糙度的影响加大,使表面粗糙度值增加-b.在扫描尺寸小的时候,可能滤掉了一些影响显著的表面缺陷,而当扫描尺寸增加后,突然包含了这些影响显著的缺陷,致使表面粗糙度值急剧增加。 扫描尺寸对表面粗糙度测量值的影响。 另外,当用AFM扫描时,扫描范围增加后,由于扫描管的非线性和结构造成的交叉耦合误差,对测量结果的影响增大,虽然在分析数据时已对原始扫描图像“平整”,但扫描尺寸增大后,该补偿所起的作用有所减弱,使得测量值增大。对于表面质量特别好,宏观几何形状误差和表面波纹度小,均匀性好,表面微观缺陷很少,表面起伏小,包括的峰谷数量少,这样当扫描尺寸增加而表面的峰谷没有增加或增加很少时,表面信息被平均分配,所以测量值变小。当表面包含有宏观几何形状误差时,用AFM测量,扫描尺寸不足以包括多个宏观几何形状误差,所以对测量值没有多大影响;
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