常用全自动精密维氏硬度计术比较 |
光学全自动精密维氏硬度计术( OM ) |
扫描电子全自动精密维氏硬度计术( SEM ) |
穿透电子全自动精密维氏硬度计术( TEM ) |
扫描探针全自动精密维氏硬度计术( SPM ) |
横向解析度 |
300 nm |
1 nm |
原子级 |
原子级 |
纵向解析度 |
20 nm |
10 nm |
无 |
原子级 |
成像范围 |
1mm |
1mm |
0.1mm |
0.1mm |
成像环境 |
无限制 |
真空 |
真空 |
无限制 |
样品准备 |
简单 |
镀导电膜 |
手续繁复 |
简单 |
成份分析 |
无 |
有 |
有 |
无 |
|
合作站点:
合作站点:
合作站点:
合作站点:
|