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轮廓仪和探针数显洛氏硬度计是两种主要的接触式轮廓测量仪接触式轮廓仪 探针轮廓仪和扫描探针数显洛氏硬度计是两种主要的接触式轮廓测量仪，它们都用一个可接触的探针去测量表面轮廓。二者的区别在于横向和纵向的测量范围及它们的分辨率，因此，它们有不同的应用范围。另外，扫描探针数显洛氏硬度计可以测量样品和针尖间的相互作用，这使得其可以测量材料的不同性质。探针轮廓仪 探针轮廓仪利用一个在表面移动的小针尖，通过感知针的高度起伏来确定表面的轮廓。探针轮廓仪能够测量的高度达lmm。这种轮廓仪工作的时候很像留声机，通常情况下，被测表面在探针下移动，但也有可能是探针在表面移动。探针的垂直运动由一个线性变化的差动变压器(LVDT)测量，然后把测量的信号转换为高度数据。探针是由坚硬的物质，例如金刚石制作的，针尖的曲率半径在0．05～50微米之间，这决定了仪器的横向分辨率。 针尖半径越小越尖，那么针尖就能够越容易地跟踪表面形状，但是针尖太尖，针尖施加给予表面的压力就越大，有可能使表面产生局部形变。如果表面产生的是弹性形变，虽然这不会损坏样品，但是会导致表面轮廓测量不准确。如果产生的是塑性形变，会导致表面轮廓测量不准确，并且可能永久损坏样品。新型的低压力技术(针尖载荷小于lmg的)允许测量柔软的物质，例如光刻胶。另外，当用小半径的探针时，扫描速度会明显降低，同时，必须降低针尖载荷来得到更准确的测量。对于***精确的探针轮廓仪，针尖半径约为几十微米或更小，针尖载荷为几毫克或更少。这些轮廓仪需要密封和振动隔离系统，需要很多分钟去完成几千个点的扫描。 探针轮廓仪的横向分辨力由针尖半径、表面形状和数据点之间的采样间隔决定。对于一个球形针尖的探针来说，在测量一个正弦形的表面轮廓时，***小可测量的正弦波的波长(周期)d不仅取决于探针半径r，还取决于正弦波的振幅
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