扫描式电子硬度计观察影像需要专业电脑分析 电子硬度计 　 一般光学硬度计的解析度仅达1000纳米，小于100 纳米的材料必须穿透式电子硬度计及 扫描式电子硬度计观察。拍摄得纳米粉体照片后，经人工或电脑影像分析，可计算出粉体的平均粒径及分布。 　 X 光绕射仪 　 纳米粉体表面的晶体结构较内部不完整，因此会使 X 射线绕射光谱变宽。 藉由其光谱宽化的程度，可计算得整体平均粒径大小。但其缺点是无法得知粒径分布状态。 　 沉降式粒径分析仪 　 一物质在液体中沉降时，因沉降运动会产生阻力，故沉降速度会越来越慢， 后达一固定速度〈称为终端速度〉，以等速沉降。此沉降速度与粉体粒径有关。 利用可见光或 X 光量测终端速度后，可计算出粉体粒径及其分布范围。 使用 x 光绕射分析晶体结构与材料粒径却有其限制，即仅能用于分析具结晶结构。 当材料制成纳米微粒后，其表面结构可能会变的较为蓬松与不规则。 因此使用此一方法所估得粒径，将可能小于实际的粒径。在极端状况下，若纳米微 粒形成非晶相 (amorphous)，则不适宜使用此一方法。 因此，为了确认所得到的粒径为真，必须再透过其他方法如原子力硬度计 (AFM) 与穿遂电子显微 镜 (TEM) 来确认材料粒径。