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| 光学放大物镜搭配测量装置-测定微小工件投影仪 |
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光学放大物镜搭配测量装置-测定微小工件投影仪在一般的情况之下，想要求得每一像素（pixels）实际代表的长度，可由 CCD 规格中的感测区域（Sensing Area）尺寸和镜头放大倍率来求得 CCD感测区域尺寸 每一像素点代表长度 ———————————————— 镜头放大倍率 CCD感测区域分辨率在普通的情况之下，以此种推算方法来计算实际的长度不会有多大的误差。但如果以此公式套用在绕射极限附近的光学放大系统下，将会有极大的误谬存在假设此数值代表了实际可以解析的能力，那此套系统将具有能解析到 0.013μm 的能力，若我们再选择更高的 CCD 感测区域解析度，是否就可以继续提高分辨率，当然，此问题的答案是否定的。原因是这个系统中根本不存在有经此放大光学系统放大后大小刚好等于一个像素的光点。利用上式在绕射极限附近的光学放大系统下推算的误谬在于，没有考虑到光学系统的解析能力是有限的，以本系统为例，在绕射效应的限制之下，推算出的大解析度将不会达到 493 个，由此可知光学系统的调制转移函数（Modulation TransferFunction, MTF）将是整个分辨率上的限制。虽然一个像素所对应的大小，不能代表实际的尺寸，不见得有意义，但是数十个或是数百个像素所对应的尺寸，就拥有其不可否认的实际意义，但计算出来的数值，其有效的位数将被限制，在此种不合理的情况之下，要利用此种估算的方法，较能接受的即是采用相对比较的值
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