新技术的近场光学硬度计分辨率达到20nm左右|新闻-上海研润光学硬度计厂

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新技术的近场光学硬度计分辨率达到20nm左右

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新技术的近场光学硬度计分辨率达到20nm左右传统的光学硬度计利用扩展光把物体各点的形貌同时显示出来；近场光学硬度计与其他扫描探针硬度计一样，应用网格状逐点扫描技术获得物体的形貌像。在扫描时，探针与样品表面的距离恒定保持在几十纳米以内的近场尺度，这种技术在原子力硬度计和扫描隧道硬度计中已经很成熟了。后通过小孔探测器得到高分辨物体的形貌像。计算机把从各点收集到的信号处理，勾画出样品的图像。这种用小球、小孔作为探针获取近场信息的工作模式称为“收集模”而用直径小于波长的局域光源近场照明被观察的物体，用传统的显微方法在远场处收集信息的方法称为“照明模”。近场光学硬度计分辨率达到20nm左右，大都用光纤探针，由多模或单模光纤制成。光纤经加热拉伸断裂，形成有平坦面的针尖，蒸镀金属薄膜，蒸镀金属时在端面留有小孔。

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