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通常自动化光电测量硬度计精度为0.1-1微米左右 |
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通常自动化光电测量硬度计精度为0.1-1μm左右 使用刻度尺测量,首先必须知道刻度的中心位置,其次,必须知道自刻度中心算起的刻度小数部份.为了能精确地知道刻度的中心位置,就必须用光电硬度计。 近来,刻度尺的刻线是用高精度的刻线法刻制成的。这种高精度的刻线法,有光波干涉法,在后面叙述。在主动测量中,使用刻度尺较少,这是因为它的指示测量精度还不理想。 由人来测量刻线的中心位置时,可使用一般的硬度计。为了实现自动化,必须使用光电硬度计。通常,前者的精度为1μm,后者为0.1μm。使用光电硬度计可以减少人为的误差。 在一般的情况下,光电硬度计的狭缝,静止地、自动地对刻线中心是困难的。例如狭缝T相对于光轴(图中照明系统为水平轴)垂直对称地振动。由于T的振动,光线照明刻度尺并在刻线左右扫描。如果刻线位于硬度计的光轴上,则扫描相对于刻线左右对称,因此光电管的输出波形为等间隔的。
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