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| 电子视频硬度计精巧而效率应用到微观分析测量 |
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电子视频式硬度计精巧而效率应用到微观分析测量 作为微电子技术环境控制的显微手段，其测试仪器有从简单的台式硬度计到当前使用的精巧而效率很高的各种仪器，而且把放大和微观分析都结合在一起了。关于分析和检验仪器的讨论来看，显微法是观察人员从各种线索中得到信息的方法。观察人员可采旧很多方法进行处理以获得所需信息；也可从初的观察中，看出各种情况和数据的相互关系，从而决定采用哪一种有效方法。 硬度计和其它方法联合使用，在检验工作中往往是处在线的。 由于引入了自动扫描系统和计算机的数据处理技术，定量显微分析近年来日益重要。 在测量粒子大小的分布，样品的其它特性中更是如此。 显微技术的进一步发展促使光学硬度计的数据自动处理，电子束硬度计分辨率和分析灵敏度方面得到更大的改进、在这新的领域中，当前首先要做的工作是将检验技术推进到更先进的水平，使之能对微电子器件中很小的斑点进行观察，并获得更高的分析灵敏度。焦质谱仪进行检测和识别质量分析 从试样选出的离子按质荷比用双聚焦质谱仪分类。质谱是由质量范围和控制信号强度进行扫描而绘出的。纵深剖面图 一方面用检测器监视某一同位素，另一方面腐蚀试样，从而获得某一元素浓度的纵深剖面图，该图是以检测器检出作为腐蚀深度的函数(同时也是时间函数)而绘出的。 在离子质谱仪的制造中有两种不同的设计方案：一种方案是离子同时轰击试样大面积上的所有点，然后采用一定的方法分析
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