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| 基于光学原理粗糙度测量光切硬度计0.03-0.05微米 |
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基于光学原理粗糙度测量光切式硬度计0.03-0.05微米另外还有一些结构原理有所不同的干涉硬度计，而有的干涉硬度计测量的可能性也不同。例如，为了扩大测量表面不平度的量限，研制了浸沉印模式干涉仪。它可测量比较大的不平度，其原理是从被测表面取下不平度印模，然后用干涉硬度计观测。为了取得印模，要用电影胶片(硝化纤维的)。胶片上涂以丙酮，并压向被测表面。获得的印模放在充有液体(浸沉液体)的盒子里。盒子安装在干涉硬度计的一条光路内，像用干涉硬度计一样，测出它的表面不平度。用这种仪器可以测量任何反射系数的表面，其量限从0．1到10μm 我们上面介绍的几种仪器并不是基于光学原理的全部不接触测量器具，而只是常用的几种。用于与光波波长直接比较测量，也可用于与量块比较测量，其基本光学系统也是迈克尔逊系统。 在这种干涉仪上，用光波半波波长数测量量块尺寸和平面x1广行性偏差。为此，必须先在某种仪器上测量误差为士1μm的被测量块的尺寸，而后在干涉仪上用不少于三条谱线的光干涉条纹确定其数值。因为这些谱线的波长是已知的，所以得到的半波长复合值可以确定量块的尺寸。 非接触式干涉仪的特性：测量量块尺寸的范围为O～lOOmm，测量误差不大于0．1个条纹，即在0．03-0．05μm之间。测量硬度计 测量硬度计是一种非接触式光学仪器，用来观察放大了的零件轮廓，用直角坐标或极坐标测量这些轮廓各要素的线值和角度。在这种仪器上，只能用与其直线刻度尺和角度刻度尺直接比较的方法进行测量(和量块相比较的方法在这里实际上是不用的)。
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