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| 超精密制造三维测量加工表面检测光切硬度计 |
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超精密制造三维测量加工表面检测光切硬度计 通过上述纳米机械加工表面微观形貌的各类检测仪器与方法的对比，明确基于原子力硬度计的纳米加工表面检测的基础理论、基本方法、仪器技术等问题，从三维测量角度建立纳米加工表面原子力硬度计检测的基本概念、模型、测量方法，通过对微观形貌的AFM三维检测，发现超精密加工中的问题。总结三维表面形貌评价体系中各参数的定义和计算方法，对评定基准产生、滤波和校准量块等一系列相关问题进行讨论。三维测量和二维测量所提取的表面信息不同，测量参数值也不同；实验结果的分析对比表明，一般三维粗糙度测量值比二维测量值大。 在研究三维表面微观形貌的谱矩特征基础上，系统地提出三维表面粗糙度参数的谱矩表达方式。对微纳米表面和表层完整性的评价性能的建议也具有较强的启迪作用。 在未来的工作中，AFM不仅可以检测复杂的三维表面微观形貌，可以从三维信息中用小波等方法提取规律性的误差，还可以建立测量结果与超精密制造(各种加工方法加工工艺)之间的因果关系，预报表面质量及指导加工制造的工艺，特别是如何根据表面测量数据深入了解加工工艺及预报加工表面的质量等，为纳米级机械加工检测技术提供理论指导。这些工作将为原子力硬度计提供更广泛的应用空间。
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