1/观察照相室

电子图像反映在荧光屏上。荧光发光和电子束流成正比。把荧光屏换成电子乾板，即可照相。乾板的感光能力与其波长有关。

2/真空系统

真空系统由机械泵、油扩散泵、离子泵、真空丈量仪表及真空管道组成。它的作用是排除镜筒内气体，硬度计使镜筒真空度至少要在10-5託以上，目前好的真空度可以达到10-9—10-10托。体视硬度计假如真空度低的话，电子与气体分子之间的碰撞引起散射而影响衬度，还会使电子栅极与阳极间高压电离导致极间放电，残馀的气体还会腐蚀灯丝，污染样品。

3/供电控制系统

加速电压和透镜磁电流不稳定将会产生严重的色差及降低电镜的分辨本领，生物硬度计所以加速电压和透镜电流的稳定度是衡量电镜性能好坏的一个重要标准。透射电镜的电路主要由以下部分组成，高压直流电源、透镜励磁电源、偏转器线圈电源、电子枪灯丝加热电源，以及真空系统控制电路、金相硬度计真空泵电源、照相驱动装置及自动曝光电路等。

另外，很多高性能的电镜上还装备有扫描附件、能谱议、电子能量损失谱等仪器。