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干涉测量方法采用基于对非常短光学波长测量干涉测量方法也能利用飞行时间技术来测量深度。在这种情况下，需要使用光学波长自身的相位。这要求对物体反射的波前信息与参考波前信息进行相干混频和强度关联。光学干涉原理已经发展出了许多变体，例如多波长干涉、全息干涉、散斑干涉和白光干涉。干涉测量的高精确度主要取决于光源的相干长度：干涉测量方法是由于采用基于对非常短光学波长测量的方式，因此不适用于测量范围大于几厘米的情况。 近几年，发展出新一代主动传感器，该传感器无须使用任何扫描机制，在视频帧速率测量条件下仅从一个视角即可获取3D测量点云图。工作原理是采用指向待测量物体的设备测量发射信号的飞行时间。这种技术的优点是可以同步测量相机传感器每个像素的距离信息。文献中已使用许多术语来描述这类设备，通常称为飞行时间相机、测距成像(RIM)相机、3D测距成像仪和测距相机或者这些术语的组合。在后面的章节中，将主要使用TOF相机术语，因为该术语与这种技术的工作原理相关度更高。该技术的出现得益于半导体技术的微型化和能够独立用于每个像素的电荷耦合元件／互补金属氧化物半导体(CCD／CMOS)工艺的发展。这样就能够在高帧速率和几厘米测量精度条件下获取每个像素的距离测量信息。然而，基于相位移动测量的TOF相机的工作距离限制在10～30m范围，而基于直接TOF测量的TOF相机的测量距离能够高达1500m。而且TOF相机通常情况下具有以下几个特征：分辨率低(不超过几万像素)、尺寸小、成本比相应的LiDAR仪器小一个数量级，功耗比相应的传统激光扫描仪小得多。与多视角图像采集相比，深度测量精度通常与表面纹理无关，但是好也需要限制在大约1 cm以内。 近，TOF相机的佳替代品已经问世：采用基于实时结构光投影和三角测量技术相结合的系列传感器，这些传感器技术能够以低成本、高帧速率条件下同时获取几何形状和表面材质，测量距离高可以达到4～5m。这类产品中有名的传感器是Microsoft Kinect。由于这类设备并不采用基于TOF测量原理
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