轮廓仪覆层厚度测量-轮廓仪又称表面粗糙度仪轮廓仪覆层厚度测量 轮廓仪又称表面粗糙度仪,常用于测量加工表面的粗糙度或不平度。对于表面有覆层的制品,如果从被测表面到和基体的界面制备一个小沟槽或台阶,则可以测量覆层厚度。通常轮廓仪测量厚度的范围为0.01一1000μm,当厚度小于0.01μm时,则对工件表面平直度和平滑度要求很高,厚度的测量较为困难。轮廓仪祛虽然属于破坏测量,但由于测量直观,测量厚度的下限很薄,捌量误差较小,因而它也被用来作为仲裁测量和供其他仪器校准之用。基本原理 轮廓仪通常是电子触针式仪器,根据其所用传感器不同,一搬可分为电感式、压电式、感应式、全自动精密式等.电感式由于具有:准确度高、信噪比高等特点,因而它的应用***为普遍。 轮廓仪是用触针在被测表面移动,在移动过程中,触针随表面不平度而上下移动,从而感应产生一比例子上下移动距离的信号,将此信号放大,则可以记录出每点高度i。由于触针随着驱动箱电动机的带动而在一定长度下移动,因而它可记录出移动范围:内的表面轮廓。当测量覆层时,由于试样制备了沟槽,因而它可以测量出各点的覆层厚度.利用轮廓仪测量覆层厚度时,对于触针尖端半径的要求不象测量粗糙度的要求高,可以选用5微米或更大一些的触针.金刚石触针可以承受一定的冲击力而不会损坏,因而使用寿命较长。 利用轮廓仪测量覆层厚度时,需要将被测件表面先制备一个小台阶,当测针从台阶底,即从基体表面的位置开始移动,待测针,移到台阶边缘就会跳至覆层表面,因而仪器将记录出基体表面和覆层表面的高度差,也就是记录出覆层厚度。 轮廓仪测量覆层的基体表面必须非常光滑平整,否则难以保证测量的准确度。
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