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高分辨率全自动精密测量技术涂层表面分析实验仪器厂商全自动精密测量方法步进方法 全自动精密尺寸测量方法通常用带有步进分度的刻度尺(或角度盘)作为实物量具。它的适用范围从大约50ram的探针封装系统到长度范围达到30m的钢带。测量值用前部或后部照明的方法获得。前部照明的方法，刻度包括两个相同宽度的相互交错类型的线：一种线的类型(例如，金涂层)直接反射入射光线；另一种是漫反射，刻度尺的衬底材料是钢。如果用背部照明的方法，用铬线组成的刻度区域适用于半透明的玻璃衬底。某种程度上玻璃陶瓷也被应用上，但对热膨胀不灵敏。例如微晶玻璃。在这一点上铬线阻止了光线穿过玻璃刻度尺。 用这两种方法，测量值的获得都是通过取样板相对刻度尺的移动产生明暗交替的变化，用光敏传感器探测到的。取样板由带有与刻度尺相同间隔刻度的半透明材料组成。高分辨率刻度尺与内插运算法结合，可获得低于毫微米的分辨率。通过应用间距为四分之一区域周期的取样光栅，可以获得刻度尺和取样板之间相对运动方向的信息。 通过附着在刻度尺旁的单独轨道的参考标志，可以建立绝对参考物。为了避免每次打开电源都要回到参考标志的位置，尤其是长刻度尺，距离信号代码在参考标志轨道上经常应用。以主刻度区域的刻度标志的形式，在参考标志之间定义了不同的距离，因此不再经过两个距离代码参考标志，就可以测量到绝对位置测量方法用刻度尺和半透明、不透明区域交替变化的取样板来描述，利用所测量光振幅的变化实现尺寸的测量。 更进一步的步进式全自动精密测量方法是基于干涉原理。光相位调制用于尺寸测量。前部照明的测量方法用一个刻度尺和带有相位光栅的取样板。金阻流板附着在金的涂层表面；
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