|
|
|
微蚀技术的应用-电铸制品测量分析用立体硬度计 |
本站文字和内容版权为上海研润光学硬度计硬度计制造厂所有http://www.yr1718.net;转载请注明出处 |
微蚀技术的应用-电铸制品测量分析用立体硬度计 微蚀技术是在极小的硅片等微面积上蚀刻出各种线路图形或区间,形成微器件和线路,以制成集成电路。微蚀加工因为是在平面上进行凹型的蚀刻,所涉及的深度只有1-10μm,相对比较容易。但是,如果要想获得更深的蚀刻凹型,一直是显微加工中的难题。追求高深度比的蚀刻技术被称为HARMS (high aspect ratio microstructure),即高深度比微型构造。近年来,这种高深度比的蚀刻技术已经获得很大发展,从而使微电铸加工成为可能。 根据微蚀可以在平面上制作各种凹型的技术特性,可以将所需要的电铸原型先在这种平面上制作出凹型,然后在这种凹型中进行微型电铸,让镀层填充这个凹型,在去掉凹型后,裸露出来的就是与凹型的阳模同形的电铸制品。 电铸是在电铸原型上进行电沉积而获得电铸制品的。电铸原型多数是阳型,电铸在其上成型后获得的是阴模。那么微型电铸的原型是怎样的呢?我们在前面提到过微型电铸实际上是在阴模中成型的电铸阳型的加工方法。这种方法平常只有在制作某些金属浮雕类制品时才会用到。但是在微型电铸中,则是主要的加工方法。
|
合作站点:
合作站点:
合作站点:
合作站点:
|
|