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| 与AFM相比SEM电子硬度计是一种空间技术-3D重构 |
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与AFM相比SEM电子硬度计是一种空间技术-3D表面重构 扫描电子硬度计（SEM ）具有突出的空间分辨率（-20 nm，与AFM相比较，SEM 可以提供从纳米到毫米相对宽的分析结果）。利用较短的波长（即高能量），可通过透射电子硬度计（TEM ）获得更高的分辨率。SEM 是一种空间技术，因而采集时间长，其缺陷在于缺乏扫描深度。但是，三维空间（（3D）效果可以通过电子一材料互动模式逆向重建，即利用3D表面重构而获得。 在OPV 的研究中，SEM 通常被用于材料的形貌分析，从而优化OPV效率 这与AFM 的应用领域有些类似。SEM 也可用于分析OIV器件横截面。如果SEM 仪器装有聚焦离子束（FIB ）源，那么可以获得更加直观的横截面，从而提高分析质量。 此外，SEM 仪器如果装有能量弥散X 射线探渊器（EDX ），有可能获得更加深人的化学信息。 但是，这仅限于结合FIB 和EDX 的SEM 对OPV 器件的特性进行表征的时候。EDX 探针长度大于器件的厚度，因此，EDX 的纵向分析使得电极灵敏度有所提高。 正因为如此，EDX 是更适用于横截面分析的一种方法。FIB 源在研究OPV 衰减过程中存在问题是， 具有高能量的离子束会导致OPV 电池中有机化合物的降解（例如，形态改变），这样使得结果变得复杂，难以解释。但是，FIB 对OPV电池的形响目前还尚未研究，所以在分析过程中，FIB 对OPV 的影响程度还不能确定。在实验条件下，横截面分析可以监测OPV 电池处于工作状态时叠层形态演变（例如中间层滋合）以及层厚度的增加/ 减少等重要信息。
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