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| 硬度计横向分辨率与高度分辨率组合-测量粗糙度 |
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硬度计横向分辨率与高度分辨率组合-用于测量表面粗糙度显微干涉仪 在测量设备范畴，还需要介绍一种高度复杂的装置：集成在硬度计中的显微干涉仪〔大部分属于米洛（Mireau）类型〕。这些装置中。硬度计的横向分辨率与干涉仪的高度分辨率相组合。显微干涉仪特别适合渊量如集成光学零件中的微小细节及小型光学零件的表面形状。还可以测址表面的粗糙度。 新研制的一代产品装备有复杂的扫描台。利用白光照明和：方向的机械扫描， 可以处理很大的高度差。在评估软件中。数据采集到一个共用高度表中， 除了测量表面粗糙度外，还可以测量小的非球而透镜。由于该干涉仪采用拼缝技术， 所以，有可能（同时）测量10个较强非球面表面，其原因在于通过改变每个拼缝部分的聚焦，得到干涉图不同区域的佳抽样， 所以，干涉图抽样可以在垂直方向采用更多像素。作为例子，ZygoNew View7000系列的横向视场是0.05-21. 9mm. 横向分辨率是0. 36~9.5 μm （取决于所用的物镜、变焦透镜和相机）高度分辨率可以小至0.lnm.垂直扫描适合不同的扫描范围。 利用接触式仪器也可以测量表面形状和纹理，这是多年来标准的粗糙度测量方式。
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