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金属管芯截取的试样金相分析用图像硬度计 |
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金属管芯截取的试样金相分析用图像硬度计 被截取的试样分为两类,类包括不同装配阶段的器件。按其复杂的程度它们可从沉积着某种单一金属的金属化层(例如,在硅上沉积铝)的半导体管芯起,到用焊锡、共晶合金或有机粘结利附着在管座上并连接上各种规格的细导线(直径往往小于1 密耳) 的金属化管芯为止。另一类是半导体本身,可以在加上它的全部金属化和电解质附加层之前,或者是在附加层被除去之后。 显然,类将需要某些预防措施,因为软的金属容易被弄脏,并且截取过程中可能使无支撑的丝断裂,而第二类无需这种预防措施。为了放大和随后的腐蚀和(或)染色,第二类更加经常需要小角度倾斜研磨,而且一般是很难用手拿着处理的。尤其是那些有金属化层的试样几乎总是要镶装在支撑塑料中,而那些无金属化层的通常不需要如此。随后的厚度测定常常是在后者上面进行的, 斜截(磨角)抛光斜截(磨角)技术有若干变种, 固定器将作为一种基本工具。固定器的大小可以改变以适应不同尺寸的试样。固定器的外环由黄铜或软铁制成,这两种金属中的任何一种在玻璃磨盘表面滑动时都具有很小的阻力。采用圆形外环进一步保证了平滑的滑动。两种金属中黄铜较好,因为它不会生锈。如采用铁,
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