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| 使用光源的波长不同硬度计的分辨率也会不同 |
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使用光源的波长不同硬度计的分辨率也会不同 对光学系统的要求由于大多数光学玻璃、透明塑料和常用的胶吸收大量的紫外光，所以须使用特制的紫外光物镜，与其配用的浸液也必须能透过紫外光，如无水甘油等。 紫外硬度计不能用肉眼观察，必须通过显微摄影或其它的方法记录其像，目前也使用一种像转换器，它可以把紫外光像转换为可见光像。 红外硬度计红外硬度计是为红外显微术专门设计或附加配备装置的硬度计，它可用来检查某些对可见光不透明的物体，在半导体材料的检测中应用较广，许多半导体材料能通过能量小于它的禁带宽度所对应的波长的光线（如硅可以通过波长大于1120nm的红外光），因掺杂、金属化或因内部缺陷而使得半导体材料中自由载流子浓度增加时，材料对光的吸收也增加，当用红外光照射半导体标本时，各区域透光的强弱反映出标本构造的细节，电视监视器就显示出图像，由此可迅速、准确、无损检测出材料的不均匀性，不规则的扩张、外来杂质、晶体内的缺陷、蒸铝岸上线缺陷，MOS 器件沟道长度等。 红外硬度计所顾的像不能用肉眼观察用电视显示或特殊胶片记录，也可在光路中使用像转换器，以便通过目镜观察。 红外硬度计使用的波长较可见光长，故分辨率比可见光硬度计低。
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