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不同类型的显微技术微电子产品检验的光学硬度计

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不同类型的显微技术微电子产品检验的光学硬度计显微技术几种类型的显微技术及其在微电子产品污染检验方面的应用。显微技术在了解器件结构及污染的内在关系方面已成为一种强有力的检验技术。它可以在微米级范围内观察器件表面存在的物体、各种显微仪器可归并为两类：一类是在整个焦平面内同时显像；另一类则是用被聚焦的点在指定区域内运动而产生图像，光学硬度计和透射式电子硬度计都属于同时显象一类，这里将首先加以讨论。光学硬度计照明光学光学硬度计是一种能迅速全面地观察缺陷和杂质粒子的工具。用这种硬度计观察杂质粒子，往往直接就识别了，并可找出粒子和缺陷间的关系及其产生的原因和效应。反射式和透射式照明系统在光学硬度计中都能使用光学硬度计具有一连串的透镜：聚光镜、物镜和目镜。在反射式照明系统中，物镜还兼有聚光镜的作用。不论是反射光，还是透射光都有几种照明形式：即亮视场、暗视场、偏振光、相位反差以及干涉反差等。

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