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| 光学硬度计测量微观很深表面要用孔径小物镜 |
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光学硬度计测量微观很深表面要用孔径小物镜 光学硬度计测量法能够研究金属一周围介质分界面上固体的结构特点。但是．光学硬度计的分辨率(取决于数值孔径(么)和光的波长(=0．50微米))较低，因而它的应用受到了限制。这时，研究微观形貌很深的表面要用孔径小的物镜。这就使光学显硬度计的分辨率更加降低。应用了紫外线辐射（=0.21）.借助于光学硬度计来研究微观形貌具有很大的意义。干涉测量术是测量表面微观形貌的一种灵敏、精密的光测方法。大家知道有两种基本的干涉法，即双射线法和多射线法。多射线法能得到很细的干涉条纹，以致就连条纹极小的位移也能看出，而这样就能测出表面形貌的微小差别(约5埃)。 光学硬度计因分辨率低而产生的主要缺点，在电子硬度计中能得到克服，电子硬度计为了照明而采用了有效波长约为0．05埃的电子。这就是说，电子硬度计的分辨率有可能比光学硬度计高108倍。实际上，由于受电子透镜结构和试样制备方法的限制，分辨率仅达2埃左右，而经常使用时为10埃左右。可见，电子硬度计能够观察和测量原子级结构的特点。作这些研究时，除了要复制所研究的表面以外，还要将大试样削薄成尺寸达0．5一O．25微米的透明薄箔，也就是要研究对电子“透明”的试样。 使用光栅电子硬度计是在电子显微测量研究中跨出了新的一步。使用这些仪器可以研究电子透不过的大块对象。对于分析具有一般深度形貌的真实摩擦面结构，光栅电子硬度计测量法具有特别重要的意义。问题是，由于结构上的特点，光栅电子硬度计具有非常大的焦深。当放大率为X 500时，焦深为0．5毫米当放大率为×10000时，焦深达8000埃。这种性能使光栅电子硬度计能研究有效放大率为20000 - 40000(这一点大大超过光学硬度计)时的表面形貌
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