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| 测定表面的构形电子硬度计测得钢件磨削表面图象 |
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测定表面的构形电子硬度计测得钢件磨削表面图象近年为测定表面的构形还采用一种光栅式电子硬度计，这种方法就是将被测表面置于真空中，用狭窄的电子束进行扫描，电子束扫描时掠过整个被测表面，利用电子束与表面接触处产生的二次辐射，即可在电子射线管的影屏上获得表面的影像，这种仪器的分辨能力可达30nm，用扫描电子硬度计测得钢件磨削表面图象。 根据干涉法工作的仪器应用了迈克逊干涉仪的工作原理，将单色光光束利用半透明镜面分成两束光，其中一束光射在一镜面上而被反射；另一束光射地被测表面上也被反射，反射的二光束叠加而形成干涉图像，光程差等于整数光波的地方亮；而光程差等于奇数半波时为暗，在硬度计的目镜中看到的干涉图象为明暗交替的条纹，因为从不平度轮廓峰反射的光束所走过的路程比轮廓谷反射的光束小，所以不平度使干涉图象变形而导致条纹发生弯曲，从暗条纹过滤到亮条纹表示光程庆功的变化，根据这个变化可容易地算出不平度的高度，多光束干涉仪能够显示特别清晰的干涉条纹，根据干涉条纹就可以得出精确的读数，干涉法的优点是图象清晰，可作出不平度的形状和高度的评价，这种方法适用于在测针压力下会变形的软质表面，该方法的缺点是可测的表面面积较小，对高度超过1-1.5μm的不平度就不能测量，另外在测量表面粗糙度的统计特性时比较麻烦全精度也不高。
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