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精细加工表面触针针尖半径对测量粗糙度参数的误差 |
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精细加工表面触针针尖半径对测量粗糙度参数的误差 在测量粗糙度参数时,困难的是测量微不平高度小于0.1μm 的精细加工表面,工业上使用的干涉硬度计,由于其分辨能力不够,不能测量这样表面的粗糙度,而按高倍垂直放大率的轮廓图来确定粗糙度参数伴有相当大的系统误差。 重要的系统误差之一是触针针尖半径引起的误差,如果在测量微不平高度大于0.1 μm 时可以忽略它,但是在记录精细加工表面的轮廓图时甚至当针尖半径不超过2-4 μm 的情况下,这个误差与微不平高度本身比较起来已显得相当大,必须对它进行修正。 触针针尖半径对测量粗糙度参数的误差的影响与下面的情况有关,当针尖沿着微不平度滑动时,针尖圆弧中心的轨迹与微不平度的形状不一致,这就导致在轮廓图上轮廓高度改变,测量精细加工表面的粗糙度基本上利用参数,对具有代表性的精细加工表面块规表面轮廓的分析表明,按其确定的每一个单个微不平度起伏都可看作是峰顶角划谷底角约为170 度的三角形轮廓。
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