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提高光切硬度计测量精度的结构改善-光学仪器技术
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提高光切硬度计测量精度的结构改善-光学仪器技术显微物镜 光切硬度计测量微观尺寸的范围,一方面受物镜分辨能力的限制和仪器总的放大倍率的影响,这决定了所测量的小极限即测量精度;另一方面物镜的成像深度(即景深)限制了可测的大极限。仪器的分辨能力和景深都与物镜的数值孔径有关,因此为了扩大仪器的测量范围,应配备多对不同的放大倍率和数值孔径的显微物镜组。 普通双管硬度计测量范围为0.8~80微米,比显微干涉法和投影光栅法范围大得多,但有些微机械器件具有很大的高度尺寸(高达几百微米),所以有必要对显微物镜组进行扩充。对同一物镜组,测量精度、测量范围和视场直径是相关的,更换物镜时需同时兼顾三方面的参数要求。 2.光源与狭缝 光源对读数测量的精度影响很大。读数时以图像边缘为测量依据,所以狭缝的边缘要整齐尖锐,两半片要具有较好的平行度和可调节性。此外,因为测量的图像为一截面上的轮廓,所以得到的光带宽度不宜过大(一般控制在0.18 mm以下),如果窄光带对应的图像亮度不够,可将普通的照明光源换成小型激光器,图像质量将会得到提高。 在图像测量中也同样存在放大倍率与照明的改造设计问题。

 


 
 
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