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| 电力硬度计(EFM)和近场声学硬度计的应用技术 |
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电力硬度计(EFM)和近场声学硬度计的应用技术电力硬度计 电力硬度计(EFM)是当悬臂悬停在样品表面上并与样品接触时，在探针与样品间应用一电压。当其扫描静电荷时，悬臂产生偏转通过用同步放大器可以测量施加在探针顶端的交流静电力，并且同时可记录到样品外形。 电力硬度计测量样品表面范围内局部电荷，与磁力硬度计相似，描绘出样品表面的磁性范围，偏转的大小与电荷密度成正比，可通过标准光束返回系统测量。电力硬度计用于研究表面电荷载流子密度的空间变化，例如，当装置打开和关闭时，电力硬度计能够测量电路的静电场。这被称为“电压探测”技术，并且是测试生物微处理器芯片的一个很好的工具。扫描近场声学硬度计 扫描近场声学硬度计(SNAM)是更进一步判定机械样品特性的测量仪器。在垂直方向上，高度差的分辨率被扫描近场声学硬度计限定在大约lOnm，侧向分辨率与探针曲率半径大小一样(大约lOOnm)，其基于分子在空气中自由路径的长度。 石英共振器的尾部带有探针，依靠反馈线圈在共振频率附近工作。当探针接近样品表面时，由于液压摩擦力的影响，共振振动的减弱会增加几微米距离。振动振幅的减小通过灵敏电子技术可检测到，并且可提供样品机械特性的图像。扫描近场声学硬度计的扫描速度(到达300μm／s)比标准原子力硬度计的扫描速度(0．1～lμm／s)高得多。 扫描近场声学硬度计，是一种在空气中非接触式探测样品表面的方法，其刻度低于几毫米，弥补了扫描力硬度计与传统接触表面测量仪之间的空隙。
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