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| 准直光管式孔径比较仪测孔测量误差原因 |
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准直光管式孔径比较仪测孔测量误差原因用接触式干涉仪测轴时，测量误差的组成与用立式光学计测轴相似，即包括：①光管带来的误差；②标准量块的误差；③工作台台面对测帽平面不平行的误差；④温度的影响；⑤测量力的影响；⑥工件重量与标准量块重量差引起工作台变形带来的误差等。其中，②③④⑤项的考虑方法与用立式光学计测轴时相同。第⑥项考虑到干涉测轴精度较高，为了不致因工件重量带来的测量误差影响测量精度，必须控制被测工件的尺寸。对于干涉测量，建议被测工件直径小于40mm，根据检定规程推算，这时带来的工作台变形，对钢制工件而言约为0．2微米。当然如果采用标准轴比较，此项误差可忽略用准直光管式孔径比较仪测孔，其误差由以下几部分组成： (1)读数系统的误差。它包括测头部分带来的误差和准直光管带来的误差。而测头误差又包括测头本身的检定误差，将线值转换成角值带来的误差及其稳定性误差。 (2)标准量块的误差。 (3)标准量块组成的标准框和孔的定位误差。对标准框来说，其标准尺寸应该是在水平面和垂直面内的小尺寸。而对被测孔，要测的尺寸应该是在水平面内的大尺寸和垂直面内的小尺寸。无论是标准框或被测孔，这个尺寸都不可能定位很准确。对于可以找转折点的仪器而言，其定位精度决定于读数的灵敏程度。对本仪器来说，由于它在孔的垂直截面内不能找转折点，因此在这个方向上的定位误差就决定于孔的端面对孔轴线的垂直度误差。 (4)温度的影响。其作用因素与测轴的情况相同。 (5)测力带来的误差。在孔测量中，所使用的测帽都是球测帽，故由测力引起的变形，对标准框和孔相差不多，而且本仪器的测力小(不大于0．28N)，此项影响可忽略。 用此仪器测孔，其总误差随着所用标准量块的等级及工件定位误差的不同而不同。根据有关资料，在不考虑上述两个因素的情况下，其测量精度可达±0．25微米。
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