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| 接触式孔径测量仪的优点有哪些-光学测量仪器原理 |
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接触式孔径测量仪的优点-光学测量仪器原理误差分析 接触式孔径干涉仪较前面介绍的仪器有两个优点：一是量块不用组合戏标准内尺寸框，而是将孔径直接与两个外尺寸比较，这样就减少了组合成内尺寸时的误差因素。二是由于不使用标准尺寸框比较，因而也就避免了测量时找标准框的小尺寸及由此而产生的测量误差。同时仪器在设计时，已从结构上就保证了标准量块的中心长度尺寸与测量方向平行。从而提高了测量精度。 用接触式干涉仪测量孔径，由于没有阿贝误差，故可忽略导轨运动精度的影响。其主要误差包括：①读数系统的误差；②测球检定误差；③测球定位误差；④温度的影响；⑤测力带来的误差等。 读数系统的误差包括定度误差和测量时的估读误差。前面已经提到，仪器是利用鼓轮推动光楔改变光程长度来读数的，而读数鼓轮是由波长来定度的。其具体方法是在光路中插人一块波长值已精确检定过的滤光片，产生单色光干涉。 非接触式孔径干涉仪的测量部件由接触式干涉比较仪的干涉计管改装而成。将干涉计管的参考镜换成本装置中的带棱镜的测量头，将干涉计管中带测头的测量反射镜改装成可变更其到分光镜距离的参考反射镜即可。本装置测量时，测量头不动，而是由工作台带动工件运动，以便工件进入测量位置。光源用汞灯源，以便形成单色光干涉。用它来对干涉仪进行定度，同时由于单色光干涉时的光程差变化范围大，易于看见干涉条纹，调整方便。
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