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| 微模铸技术微米级的加工工艺使用原子硬度计 |
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微模铸技术微米级的加工工艺使用原子硬度计 深反应离子刻蚀为制造用于大规模生产的主模具提供了一种技术途径。与微模铸技术联合运用的话，可以制造种类繁多的微产品。以深反应离子刻蚀加工深沟槽的方法被用于制造可调谐的电容器。 在纳米加工领域中，微米级的加工工艺可以制作用于原子力硬度计的悬臂梁探针，该结构可以在硅和其他材料上以直写方式复制结构图形。本书阐释了其中两个问题，是如何开发微米加工工艺，并通过加工来逐一生产出产品，二是如何通过制造工程来生产多个微产品。如何通过微米加工手段来制作原子力硬度计的悬臂梁的示例。对用硅和玻璃构成的悬臂梁进行腐蚀后，可以加工出制作探针所需的结构图形，该探针用于在衬底表面上的直写。这种类型的悬臂梁可用于在纳米加工中形成特定结构 在悬臂梁加工过程中．利用各向异性腐蚀在硅晶圆的(100)表面上形成凹坑。在该晶圆表面和凹坑中淀积一层氮化硅膜。支撑针尖的梁的制备方法是：将玻璃基片上的硅除去，只余下与金属方块连接的氮化硅悬臂梁。基于软刻印的纳米加工 纳米加丁技术的发展的动力源于提升单片硅上晶体管密度的直接需求。然而，纳米加工技术也可以用于开发那些并非面向半导体行业的产品。例如，正在开发用于构建谐振隧道二极管、三极管以及单电子晶体管与碳纳米管晶体管的纳米加丁技术。目前正在开发中的、面向纳米级应用的晶体管中，常见的类型是场效应晶体管。
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