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| 可用于电镜测定使化学分析和颗粒大小和表面特征 |
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可用于电镜测定使化学分析和颗粒大小和表面特征 可以用于电镜测定使化学分析和颗粒大小分析可同时进行。扫描电子硬度计(SEM) 扫描电子硬度计是一细束具有中等能量(5—50kev)的电子在一系列轨迹上扫描试样。这些电子与试样相互作用产生二次电子放射(SEE)， 反射电子光(BSE)或阴极射线致发光和X射线等信号。这些信号中的每一种都可被检测出来，并如电视图象一样在阴极射线管的屏幕上显示出来。一般都用屏幕的照象记录进行观察。与TEM比较，SEM要快得多，而且得到更多的三维空间细节 为测定表面特征和颗粒的厚度，常将一重金属膜倾斜地沉积在标本上或其复制光栅样上。为了使接近于平行的光束可以达到标本上，可利用低能源高真空将金属沉积下来。 化学分析 当颗粒被电子轰击后其辐射取决于化学成分。 用单色或多色辐射或电子束来进行研究。这是一种一个电子从内层轨道发射出的二次电子过程，留下的空位被落入空位层的电子所填充，这就为放射另一个电子提供了能量。Auger电子的能量是分子所具有的特征。用真空紫外技术对金属表面进行了很多研究，从得到的能量分布曲线(EDCs)给出各种金属谱段的资料。软X射线的应用就是化学分析的电子光谱法(ESCA)。X—射线除能从价电轨道上放射电子外，还能有足够能量从某些内层轨道放射出电子。这是属于由原子性质而产生的能谱，是有关原子的特征而不是一部分由该原子所组成的分子的特征
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