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| 电子硬度计的物镜、中间镜及投影镜-分辨率与波长 |
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电子硬度计的物镜、中间镜及投影镜-分辨率与波长物镜、中间镜及投影镜统称为成像系统。近的电子硬度计也有四级、五级透镜的，但是基本形式是这种三级透镜，其他的透镜是以像差，放大倍数等辅助措施为目的的。 试样室 试样室安装有气锁机构，以便将试样放入真空中。近的装置中，为了更快地进行试样的更换，也有能放置6～8个试样的试样室，可以自由地选择试样进行观察。试样室中重要的是试样的微调装置。电子硬度计的分辨率为l埃，拍摄这样高分辨率的照片时的曝光时间需要10秒以上。也就是说，必须有一个先决条件，开动试样微调装置时，平稳起动后停止，在10秒钟内连l埃的移动都不允许。这与透镜的像散一样．是一种十分重要的机构。拆开试样室清洗时也应该注意到这一点。 上述的是过去类型的试样室。称为顶装式的试样室。近使用的从物镜磁极的横方向将试样插入的侧装式。这种型式的试样宣对于X射线分析是必需的。也就是说，为了进行几百埃的微区X射线分析，必须把电子束缩小到与它相同的尺寸。这种方法，仅加强上述的会聚镜的激磁是不够的，而是要加强物镜激磁+并将其前磁场作为第三会聚镜使用。因此试样的位置必然靠近物镜中心的部份，而侧装的试样室，便能把试样置于满足这种条件的位置上。 分辨率 光学硬度计的透镜中有各种像散，它是用几组玻璃透镜组合的方法来修正这种像散的。然而。后决定分辨率的是受光的波长所限制的衍射像散。把光学硬度计下可分辨的两点间的小距离定义为分辨率
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