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| 零件加工精密制造表面质量检测光切硬度计 |
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零件加工精密制造表面质量检测光切硬度计随着精密、超精密制造技术的发展，对零件表面加工质量的要求越来越高，在追求和探索各种超精密表面加工新工艺、新方法的同时，对表面质量的检测理论、检测方法与检测仪器提出了更高的要求。表面质量检测理论必须适应各种纳米表面加工工艺研究的新要求，表面质量检测评价方法必须科学合理以适应各类超精密零件的制造水平和使用特性，检测仪器的检测精度必须高于零件加工制造的精度水平才能有效指导加工工艺。目前传统的机械触针接触式、光学干涉非接触方式的表面质量的检测理论与方法已经不能完全适应纳米级表面质量检测的新要求。原子力硬度计发明之后的二十多年里，其在精密工程领域得到了大量应用，成为纳米量级机械加工表面质量与表面形貌检测的重要仪器。一方面，原子力硬度计很好地实现了纳米量级机械加工表面质量的高精度检测，丰富了三维纳米表面形貌的测量理论，更精确地实现了超精密加工表面形貌的仿真和预报；另一方面，由于其表面测量的主要工作原理宏观上与传统的机械触针式测量方法极其相似，因此在目前测量纳米级表面形貌时沿用了传统的测量理论体系。事实上，对于基于原子力硬度计的纳米表面测量，既需要完善测量理论体系，弥补测量方法和仪器表征方面的不足，又需要对原子力硬度计测量纳米表面的测量机制和评价表征方法进行新的探索。
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