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硬度计观察纳米级机械特征-镀层研究技术
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硬度计观察纳米级机械特征-镀层研究技术 摩擦学目前的发展趋势 摩擦学是多学科性的科学技术,和大多数自然科学密切相关。现代摩擦学源自机械学,并使用机械学的基本原理和方法而推动物理、化学和材料科学的发展。表面科学中的新成果来自薄膜、镀层和界面现象等领域。 目前,对摩擦学的研究已明显地从宏观研究转变为微观研究和纳米尺度的研究,它们对一些基本的摩擦学问题提出了新见解。例如,变形和摩擦的粘结机理是相互关联的。摩擦学的新领域,称为微观摩擦学或纳米摩擦学,是研制新型杌械设备.微电子机械系统(MEMS)的基础。MEMS是将传感器、信号变换器和服务单元的功能组合在一起的微型设备。毫微光刻技术使得研制出只有几个微米厚、几十个微米长的MEMS膜层成为可能。微观系统的摩擦、润滑和磨损发生在尺寸和系统尺寸相似的非常光滑的接触区域中。在这些微观系统中,粘结和表面力非常重要,为摩擦学问题提供新的解决方案。例如,采用单分子层的特殊碳氟化合物液体来减少摩擦和降低磨损。由于MEMS系统中主要使用硅材料,但硅具有润滑性能差,机械强度低,易于和氧气及氢气发生反应等缺点,所以急需研发一种表面改性和制作超薄镀层的新方法。接触材料的机械特性取决于研究的尺度范围。因此,杨氏模量和硬度等参数不仅可以发生数值的改变,而且实际机理也可以发生变化。当研究从宏观尺度转变为微观尺度时,就会发生材料的整体性质向表面层特性(局部杨氏模量和纳米压痕数据)的转变。对触头进行扫描硬度计观察为得到纳米级系统可信的机械特性提供了极有潜力的方法。不过,根本问题是对实验数据的解释和对尺度变化的自我调节。

 


 
 
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