表面、厚度、表面粗糙度测量被测样品光学仪器

干涉仪
干涉仪是一种利用光干涉效应对表面、厚度、表面粗糙度、光
功率、材料均质性和距离等进行准确测量的仪器设备。干涉仪的分
辨率由所用的光波长决定．可达到纳米的量级。为了得到被测样品
的特性．必须获取并分析干涉仪所得到的干涉图。双光束干涉仪可
以获得两束光问光程差的相关信息。干涉仪可以做出准确测量，但
必须注意仪器校准和系统特性。

如果被测面有缺陷，如凸包或孔洞．条纹便会在其周围发生弯
曲。为了查看其表面是凸包还是孔洞．必须先确定光程差递增的方
向。将被测元件向一个方向推动，并注意观察条纹数量。当推动时
条纹数目增加方向的光程差较小。如果右边的条纹有更高的光程差
．意味着两表面之间的空隙在右边．那么这种干涉图说明在被测元
件的下表面有个孔洞。在缺陷位置上．从左到右拉时条纹表现出光
程差增加的话．则表示参考光束在缺陷区域内传播的距离更远。

补偿板
补偿舨对一个相干长度短的光源来说是很重要的。如果分束器
的上表面是反射面，测量光束要到达成像透镜需经过分束器三次，
而参考光束仅通过它一次。为了匹配所有波长下的双光束在玻璃中
的路程相等，必须在参考臂中放置一个与分束器厚度相同的补偿板
。平板由相同玻璃材质制成，以匹配光束的色散。如果干涉仪使用
立方分束器，就不需要补偿板。