亮视野与暗视野(bright field/dark field)
简单的说，亮视野就是直接接收反射光，暗视野则是接收散射光

一般光学硬度计皆是在亮视野底下操作，而暗视野则可以观察到物体的轮廓，把一些结构上的问题显现出来。在亮视野下，物体平滑的区域接收到正向打光的光源并反射至物镜而产生亮的影像，而表面粗糙的区域则因为散射的问题，相对起来就比较暗，这种暗是因为光散射的问题而不是因为材质吸收光的关係，而在暗视野底下，照明光源的中央被一遮光罩遮住，只留下周围的光源斜射至观察物上，在此大角度的照射下，光滑的表面所反射的光无法进入物镜，因此观察物的背景大体上都是暗的，至于粗糙的表面则因为散射的作用得以接收到反射光，所以反而是一些轮廓有明亮的影像
说明着入射光与反射光角度的关係，
则是分别显示在亮视野与暗视野底下所拍摄到的晶片表面图。