物镜的特性是光学硬度计的性能的决定因素之一，因此物镜的一些参数皆会标示在物镜镜头上以便让人辨明
除了缩小工作距离以增加目镜与物体间的夹角外，提高光线传播介质的折射率也是一个方法
既然开口值决定了解析度，提高开口值便成为可研究的方向，因此把观察物浸入高折射率的介质中就能提高物体的鑑别率，例如水镜以水溶液为介质，其折射率等于1.33，油镜以镜油或甘油为介质，其折射率分别为1.51及1.47，水镜与油镜在解析度的效能上可分别提高20%及40%。
不过溶液直接接触到试片的方式对试片是否会造成影响有待商榷，固态的Solid Immersion Lens(SIL)便应运而生，它是利用Si製作的半球形透镜直接接触试片，因此比较适合用来观察晶圆背面所散发的光讯号，而对于系统所发出的雷射讯号也可以较收敛的集中在观察位置上
一般目镜所侦测的光讯号加上SIL后所侦测到的光讯号