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场发射扫描式电子硬度计FEGSEM,优缺点?------新闻标题
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场发射扫描式电子硬度计(FEGSEM:Field Emission Gun Scanning Electron Microscopy)


使用六硼化镧(LaB6)或纳米碳管(CNT)制作成针尖小于100nm(纳米)的纳米尖端来发射电子束(场发射),

纳米尖端可以使电子束的直径缩小到10nm(纳米)左右,

其原理与扫描式电子硬度计(SEM)相同,如图4-54(d)所示为场发射扫描式电子硬度计(FEGSEM)照片,
场发射扫描式电子硬度计(FESEM)的解析度更高,可以用来观察大约10nm(纳米)的结构,但是只能观察物体表面的高低起伏,
所以表面平整的物体无法使用。

 
 
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